新松公司攻克新一代真空机械手：可传输晶圆重复定位精度002m星空体育官方网站m

　　星空体育网站入口IT之家 8 月 25 日消息，8 月 21 日~25 日，2024 世界机器人大会在北京举行，169 家企业展出 600 余件创新产品。

　　据介绍，真空机械手是芯片制造过程中，负责不同工位之间晶圆传输的关键设备，在尖端工艺制程中重复定位精度要求达到了 0.02mm，相当于一根头发丝直径的 1/5，该设备长期被国外企业垄断，是名副其实的“卡脖子”技术星空体育官方网站。

　　新松公司自主攻克新一代真空机械手技术，并实现在中国最先进芯片制造工厂的批量应用星空体育官方网站星空体育官方网站。

　　新松 Centaur 真空机械手拥有领先的重复定位精度、碰撞保护以及 AWC 智能动态纠偏等功能星空体育官方网站，机械手采用双独立设计，两只手臂不受彼此影响独立进行取放片工作，相比传统机械手的传输效率大幅提升，可胜任不同尺寸规格的晶圆搬运。

　　IT之家注意到星空体育官方网站，新松公司还展出了双臂具身智能抓取站、工业机器人 3D 视觉免示教系统、特种机器人等相关机器人产品 / 系统。